“人员都已经到齐了，可以随时开始测试。”光电技术研究所徐昀身穿着专门的研究服，安排妥当后向身旁科学院院长侯盛昌汇报。

同样穿着研究服的侯盛昌，闻言立刻抬手道：“你是项目负责人，按照自己的安排进行即可，我这次过来主要是旁观。”说话的语气很是柔和，丝毫没有要喧宾夺主进行指挥的意思。

当初他看中徐昀的实力，亲自前往京州大学邀请其负责光刻机项目。

到今天不过才一年多的时间。

但收获却甚是巨大。

徐昀带领光电技术研究所项目团队，成功制造出了国内首台极紫外光刻机。

具备深远意义。

可以说是让国产半导体领域迈入了新的里程碑。

得知首台极紫外光刻机就要进行芯片测试时，他几乎没有任何迟疑，第一时间推掉了后面的行程乘坐飞机从帝都赶到锦城。

作为如此重要的时刻，他这个院长肯定要亲眼见证这伟大的一幕。

徐昀知道侯盛昌的性格，自然不会在这种小事上去想太多，当即嘴角噙着笑容应声回答。

“我明白了院长。”

说完便对工作人员下令道：“开始吧。”

与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。

他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。

甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。

不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。

倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。

确实难以把心彻底放下。

此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。

但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。

肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。

这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。

因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。

2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。

研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。

同时其价值也是普通人难以想象的。

不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。

而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。

这点也算是国产极紫外光刻机的优势。

如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。

关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。

想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。

其作用是将芯片的功能模块电路系统以及物理结构地图绘制在印刷母版上，如此才能开始后面芯片的批量制造生产。

此次测试的芯片正是人工智能实验室和华威技术共同设计的智能汽车芯片。

实验室负责人颜恺明将之命名为灵思。

为7纳米工艺芯片。

这时徐昀侯盛昌罗长辉等人已经来到这台极紫外光刻机主控系统。

能看到晶圆即将进入下一个光刻阶段。

待这台庞大精密半导体设备运行时，徐昀则在旁边向侯盛昌介绍。

“院长。”

“这次制造的芯片是一款智能汽车芯片，由深度科技旗下的人工智能实验室和华威技术设计。”

“并且还是使用的应龙eda。”

说到最后这件事时，徐昀特意加重了语气。

之前新思楷登这几家海外eda巨头公司宣布限制他们使用软件的时候，侯盛昌就说过不需要担心，已经有公司再开发国产eda软件。

可见他对华威的应龙eda项目是比较了解的。

不过在听到这句话后，他眼神中还是不可避免的闪过了些许意外。

下秒侧过脸问道：“应龙项目已经完成并且实际开始应用了吗？”

显然这件事很是惊讶。

当然这件事也不能怪他，谁会想到华威方面选择大胆尝试借助人工智能模型辅助软件开发后，会使整个开发效率提高这么多。

否则就算首台极紫外光刻机能交付使用，只怕应龙eda还不完善。

对于这件事倒也没有隐瞒的必要，徐昀稍作思考便组织好语言解释。

“是的院长。”

“早在年前应龙eda项目就已经完成。”

“那么快？”侯盛昌惊呼。

徐昀微笑着解答：“这是因为他们借助了人工智能模型笨笨的辅助。”

“原来如此。”侯盛昌闻言立刻想明白了中间情况。

眼下根据笨笨复制来的人工智能深海，已经逐步运用到各种领域上，并且发挥出了远超人类的能力，辅助软件开发自然不算什么。

这点侯盛昌还是有一定认知的。

“太好了。”

“如此我们的芯片制造产业链就能完全解决，今后不再有什么掣肘了。”

随即他想到这个情况带来的作用，脸上的笑容顿时又盛了几分。

周围其他人虽没开口发言，但从神情来看心情也都算不错。

尽管到现在测试才算刚刚开始，可看到徐昀这波澜不惊信心十足的状态，倒是让他们都平复了许多。

进行光刻前晶圆一般要通过高温加热方式其表面产生氧化膜，作为光导纤维便于后续的光刻流程，这也就是所谓的覆膜。

晶圆完成这项流程后，接下来便是涂抹光刻胶。

值得一提的是，这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。

而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶，检测表现出来的数据远远超过对方。

关键成本方面更加低廉。

不过由于先前国内并不具有高端光刻机，所以一直没有办法实际测试。

今天总算能代替其真正价值。

只要表现的足够稳定，那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。

对此侯盛昌则最为高兴，想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱，便让人心情舒爽。

要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节，是必须要攻克的存在。

以往国内没有高端光刻机，也就未朝高端光刻胶领域过多发展。

进行研究的皆以低端光刻胶为主。

根本无法使用在光刻机上。

幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶，否则空有光刻机没有高端光刻胶，照样无法完成今天的测试。

哪怕成功交付，也解决不了半导体领域问题。

毕竟就算立刻投入大量精力去研究，也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。

“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊，要不然今天的测试就只能进行到这步了。”

或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。

再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。

说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。

这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。

当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”

他这话自然不是谦虚。